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管式电炉

产品

石墨烯生长炉(PECVD)

作者:admin 日期:2016-10-17 10:09
产品说明: 石墨烯生长炉由YB-GT管式炉+真空系统+供气系统+水冷系统组成 ,可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流
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详细介绍
产品说明:    
石墨烯生长炉由YB-GT管式炉+真空系统+供气系统+水冷系统组成 ,可以是单温区、双温区、三温区等,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计,混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。
KJ-1200T管式炉采用掺钼合金加热丝为加热元件,采用双层壳体结构和宇电控温仪表,能进行30段程序控温,移相触发、可控硅控制,炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料,具有温场均衡、表面温度低、节能等优点。
软件控制系统:该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出


一:基本参数:

1: 加热炉部分
2 :炉膛模式 开启式炉膛
3 :显示模式 触摸屏
4: 极限温度 1400℃
5 :工作温度 ≤1350℃
6: 升温速率 建议10℃/Min   Max:30℃/Min
7 :预热温区长度 150mm
8 :主温区长度 300mm
9 :预热温区移动 手动移动
10: 主温区移动 自动移动,速度可以设定

二:设备特点
 
1: 设备规格 2000*85*1400mm(长*宽*高)
2: 炉管长度 2000mm
3: 控温精度 ±1℃
4: 密封方式 快速法兰密封
5 :温度曲线 30段"时间—温度曲线"任意可设
6:预存曲线 可预存15条温度曲线
7: 超温报警
8:过流保护
9: 断偶提示
10: 测温元件 s型热电偶
11: 炉膛材料 氧化铝纤维
12: 射频电源功率
13: 信号频率 13.56 MHz±0.005%
14: 功率输出范围 5W-500W
15: 功率稳定度 ±0.1%
16: 谐波分量 ≤-50dbc
17 :供电电压 单相交流(187V-253V) 频率50/60HZ
18: 整机效率 >=70%
19: 功率因素 >=90%
20 :冷却方式 强制风冷

   真空部分
 
1:工作电电压 220V±10%  50~60HZ
2:功率 500瓦
3:抽气速率 4L\s
4: 进气口口径 KF25
5:排气口口径 KF25
6:转速 1450rpm
7:噪音 55dB
9:极限真空 4X10-2Pa

气路系统
 
1,2,3,4气路采用DB07系列
准确度:±1.5%
重复精度:±0.2%
响应时间:气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec
工作压差范围:0.1~0.5 MPa
整机系统特色
正压测量 -100Kpa---100Kpa
真空测量  -100Kpa
 
超压保护 超压保护值可以设定
压力恒定 恒定压力值可以设定
智能气路 气路系统可以编程
气路定时 通气时间可以设定
射频工作时间设定 辉光放电时间可以设定,自动关机
移动速度调节 移动速度可以设定
系统真空度 5Pa

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